【项目概况】

苏州美*电子科技是一家从事材料、半导体、电子、信息技术、机电等高科技领域的耗材、设备仪表、微纳加工及技术咨询与服务的专业化公司。半导体芯片生产线有机混合废气经引风机作用，先经过预处理过滤装置去除废气中的粉尘及杂质部分，经过初步过滤后“相对纯净的有机废气”进入沸石转轮吸附装置进行吸附净化处理，经过沸石转轮脱附出来的高浓度废气进入TO直燃式焚烧炉，进行焚烧净化处理。废气焚烧后的炉膛燃烧室高温气体与内部热交换器进行热交换预热进来的脱附废气，使脱附废气换热后温度控制在300-350℃左右，进入燃烧室燃烧，经内部换热器降温后，进入尾部二级烟气余热利用装置，升温后的洁净气体进入转轮脱附区用于脱附，此时脱附出来的废气属于浓度高、风量小、温度高的有机废气，再进入二级烟气余热利用装置用于废气温度二次提高，进入TO焚烧炉焚烧处理。实现了节能减排和达标排放。

【设计思路】

预处理 + 沸石转轮浓缩 + TO炉燃烧净化